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离子束刻蚀机的离子源是什么

来源:www.advancednems.com         发布时间:2021-01-19 返回列表

离子源的主要参数有:

①离子束流强。即能够获得的有用离子束的等效电流强度,用电流单位A或mA表示。

②有用离子百分比。即有用离子束占总离子束的百分比。一般来说,离子源给出的总离子束包括单电荷离子、多电荷离子、各种分子离子和杂质元素离子等的离子束。

③能散度。由于离子的热运动和引出地点的不同,离子束刻蚀机哪家好,使得离子源给出的离子束的能量对要求的单一能量有一定离散,离子束刻蚀机品牌,一般希望能散度尽量小,在高精度的离子束应用中尤其是这样。

④束的聚焦性能。以离子束的截面和张角表示。聚焦不好的离子束在传输过程中会使离子大量丢失。获得良好聚焦特性的离子束的终障碍是束中离子之间的静电排斥力,为了克服这一障碍,应尽早使离子获得较高能量。

⑤离子源的效率。以离子束形式引出的工作物质占总消耗的工作物质的比例。

⑥工作寿命。离子源一次安装以后使用的时间。

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