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螺线管式磁通门探测器 离子束刻蚀

螺线管式磁通门探测器 离子束刻蚀
 离子束刻蚀的特点:

(1)材料使用范围广,不受刻蚀材料的限制(金属和化合物,无机物和有机物,绝缘体和半导体均可)

(2)刻蚀过程中可改变离子束入射角来控制图形轮廓。

(3)刻蚀精度高。离子束加工是目前最细微的加工工艺。离子束轰击工件的材料时,其束流密度和能量可以控制,可达纳米级精度。

(4)环境污染少。该方法特别适合对易氧化的金属、合金和半导体材料进行加工。

(5)加工质量高。离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的,加工应力和变形极小,适合加工各种材料。

二、离子束刻蚀的应用:

(1)适应于超微结构的精密加工;

(2)离子束刻蚀对材料无选择性,特别适合对一些化学研磨,电解研磨难以减薄的材料进行减薄;

(3)由于离子束逐层剥离原子层,所以具有微分分析样品的能力。
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